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        為確保磁場的強度一致性，需要對所用磁鐵的磁場強度進行挑選，盡量選擇磁場強度一致的磁鐵。陰極裝配完畢後，采用高斯計沿陰極橫向對磁場強度進行掃描測量，繪出磁場強度曲線，可采用調整磁鐵到靶材距離的方法微調該處磁場強度，確保磁場沿陰極橫向的一致性。


        陰極使用過程中應嚴格控製冷卻水溫，並及時更換靶材，防止永磁體過熱，因其過熱不僅會導致磁場強度衰減，也會造成磁場不均現象。


        鍍膜室真空度、溫度、玻璃91香蕉视频在线播放恒定的真空度根據工藝氣體流量，對分子泵抽速、數量配置和安裝位置進行合理配置。完善可靠的腔室密封，所有的動密封如傳動站、翻版閥等處均采用磁流體密封，蓋板和腔室之間采用壓差密封，即對兩道密封圈之間的空間抽真空，從而提高大型密封麵的密封效果。進出片過渡室內部各布置2～3套阻流器，減少門閥開啟閉合對鍍膜室內真空度的擾動。


        溫度控製陰極及鍍膜室腔體通軟化水冷卻，並對進出水的溫度和流量進行監控。


        幹燥度控製玻璃清洗完畢後應確保幹燥充分。生產線旁應布置幹燥壓縮空氣(CDA)儲氣罐，在空氣濕度大的時候，進出片室在充氣時可選擇接通CDA，以減少進入腔室內的水蒸氣分子。


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